|
|
 |
|
|
 |
| |
 |
| |
|
|
| |
| |
|
|
| |
| |
| |
 |
| |
 HEPA FILTER를 사용하여 청정도 CLASS 100 이하의 작업환경을 형성 할 수 있는 장치이다.
CLASS 100 : 0.3㎛ 입자, 99.9% 이상 제거함. 근거 : 미연방규격(U.S.Standard No.209b)
용도
1. 반도체 산업 wafer의 annealing, resist membrane의 건조
2. 광학산업의 렌즈의 건조
3. 의료기구의 살균(멸균) 건조
|
| |
저온 POLY
SILICON, PDP나 FED등의 FLAT PANEL(FED)과 CERAMIC기판 시장에 있어서, 고온으로 CLEAN열처리가 가능한
OVEN의 필요성이 중요시 되고 있습니다.
본 제품은 전면 송풍과 HEPA 필터가 만들어 내는 Class100의 청정도에 강하고, 세로형 Slim 설계에 의한 스페이스 절
약, 마이크로컴퓨터 탑재에 의한 조작의 심플화, 안전 대책의 더욱 충실한 실현, 청정공기 조건이 요구된 부품이나 기
구의 베이킹나 열처리, 건조에 사용합니다.
또, 신개발의 고온형 HEPA필터를 갖추고, +150℃이상의 고온 영역으로의 온도 상승 및 강하시에 있어도 안정된 필터
성능을 발휘하는 고성능 타입도 준비하고 있습니다. |
| |
주로 오염물질이 없는 청정 환경을 요하는 곳에 사용되며 공업용 크린오븐은 반도체 전자부품 등에서 바이오 크린오
븐은 의약품, 병원, 생산라인 등에서 사용됩니다. |
| |
| |
| |
 |
| |
Model No |
Inside Dimensions |
Max-Temp(°C) |
Inside Material |
R.P.M Motor(W) |
FAN Motor(KW) |
SE-RA-01 |
45cm(W) 40(D) 45(H) |
250 |
|
100 |
2.0 |
SE-RA-02 |
50cm(W) 50(D) 60(H) |
250 |
" |
200 |
3.0 |
SE-RA-03 |
60cm(W) 60(D) 80(H) |
250 |
" |
200 |
4.0 |
Safety device |
Over Temp Control, Motor over load protecor, Circulation Air damper, BREAKER |
OPTION |
P.I.D Control. Program Control. Materials Recorder
|
|
| |
| |
 |
| |
 |
석산의 모든 제품은 지구환경을 보호하기 위하여 몬트리올 의정서에 의해
프레온 규제를 받지않는 냉매를 사용하였습니다. |
|
| |
|
|
 |
|
